INTERFACE CIRCUIT FOR CAPACITIVE ACCELEROMETER

被引：6

作者：

VANPAEMEL, M

机构：

来源：

SENSORS AND ACTUATORS | 1989年 / 17卷 / 3-4期

关键词：

D O I：

10.1016/0250-6874(89)80055-1

中图分类号：

O65 [分析化学];

学科分类号：

070302 ; 081704 ;

摘要：

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页码：629 / 637

页数：9

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共 2 条

[1] A MICROMECHANICAL CAPACITIVE ACCELEROMETER WITH A 2-POINT INERTIAL-MASS SUSPENSION [J].

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