BI-SUBSTITUTED GARNET-FILMS CRYSTALLIZED DURING RF SPUTTERING FOR M-O MEMORY

被引:23
作者
GOMI, M
OKAZAKI, T
ABE, M
机构
[1] Tokyo Inst of Technology, Tokyo, Jpn, Tokyo Inst of Technology, Tokyo, Jpn
关键词
D O I
10.1109/TMAG.1987.1065444
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
4
引用
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页码:2967 / 2969
页数:3
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