HIGH-DOSE METAL-ION IMPLANTATION

被引：19

作者：

TREGLIO, JR

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0168-583X(89)91047-1

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

页码：567 / 570

页数：4

共 8 条

[1] HIGH-CURRENT ION-SOURCE [J].

BROWN, IG ;

GAVIN, JE ;

MACGILL, RA .

[2] METAL VAPOR VACUUM-ARC ION-SOURCE [J].

BROWN, IG ;

GALVIN, JE ;

GAVIN, BF ;

MACGILL, RA .

[3]

BROWN IG, 1988, 13TH INT S DISCH EL

[4] COMPONENTS OF CATHODE EROSION IN VACUUM ARCS [J].

DAALDER, JE .

LEMPERT, GD .

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[7]

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UTSUMI, T ;

ENGLISH, JH .