VACUUM PUMPING OF AGGRESSIVE AND DUST LADEN VAPORS

被引：5

作者：

CONNOCK, P

DEVANEY, A

CURRINGTON, I

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1981年 / 18卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1116/1.570880

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：1033 / 1036

页数：4

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[1]

BALFOUR D, 1980, 27TH NAT AVS S DETR

[2]

LAURENSON L, 1979, VACUUM, V29

[3] PUMPED OIL FEED SYSTEMS FOR ROTARY VACUUM PUMPS [J].

WYCLIFFE, H ;

POWER, BD .

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY, 1981, 18 (03) :1160-1163