ALUMINUM NITRIDE ON SILICON SURFACE ACOUSTIC-WAVE DEVICES

被引：21

作者：

PEARCE, LG

GUNSHOR, RL

PIERRET, RF

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.92591

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：878 / 879

页数：2

共 6 条

COLLINS, JH ;

HAGON, PJ ;

PULLIAM, GR .

[2] PROPERTIES OF REFLECTIVE ARRAYS FOR SURFACE ACOUSTIC RESONATORS [J].

CROSS, PS .

IEEE TRANSACTIONS ON SONICS AND ULTRASONICS, 1976, 23 (04) :255-262

[3]

KINO GS, 1979, 1979 ULTR S P NEW YO

[4]

MARTIN SJ, 1980, APPL PHYS LETT, V37, P200

[5]

SHIOSAKI T, 1980, 1980 ULTR S P NEW YO

[6]

TSUBOUCHI K, 1980, 1980 ULTR S P NEW YO