PR-80 HIGH-CURRENT ION-IMPLANTATION MACHINE

被引：4

作者：

KAWAI, T

NAITOH, M

NOGAMI, M

KINOYAMA, T

NAGAI, N

FUJISAWA, H

机构：

来源：

NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS | 1987年 / 21卷 / 2-4期

关键词：

D O I：

10.1016/0168-583X(87)90835-4

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

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页码：239 / 244

页数：6

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