PURIFICATION OF RARE-GASES AND MEASUREMENT OF LOW RESIDUAL IMPURITY LEVELS

被引：11

作者：

ROSAI, L ^{[1
]}

BORGHI, M ^{[1
]}

机构：

[1] SAES GETTERS SPA,VIA GALLARATE 215,20151 MILAN,ITALY

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1974年 / 11卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1116/1.1318616

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：347 / 349

页数：3