INFLUENCE OF CONTACTS ON MEASUREMENT OF PERMITTIVITY OF SILICON SINGLE CRYSTALS

被引:3
作者
VANOVERSTRAETEN, R
CARDIJN, E
VANDEWIE.F
机构
关键词
D O I
10.1063/1.1659291
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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共 2 条
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