SCANNING ELECTRON-MICROSCOPIC AND X-RAY PHOTO-ELECTRON SPECTROSCOPIC EXAMINATION OF TOKAI GLASSY-CARBON SURFACES SUBJECTED TO RADIO-FREQUENCY PLASMAS

被引:93
作者
MILLER, CW [1 ]
KARWEIK, DH [1 ]
KUWANA, T [1 ]
机构
[1] OHIO STATE UNIV,DEPT CHEM,COLUMBUS,OH 43210
关键词
D O I
10.1021/ac00237a043
中图分类号
O65 [分析化学];
学科分类号
070302 ; 081704 ;
摘要
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页码:2319 / 2323
页数:5
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