共 2 条
[1]
BENNETT HE, 1967, PHYSICS THIN FILMS
[2]
SATKIEWICZ FG, PRIVATE COMMUNICATIO
A COMPARATIVE STUDY OF ANODIZED, EVAPORATED, AND SPUTTERED ALUMINUM OXIDE THIN FILMS
被引：6
作者：
MIER, MG
BUVINGER, EA
机构：
来源：
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY
|
1969年
/
6卷
/
04期
关键词：
D O I：
10.1116/1.1315742
中图分类号：
O59 [应用物理学];
学科分类号：
摘要：
引用
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页码：727 / &
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