共 3 条
- [1] HOLLAND J, 1968, J PHYS E, V1, P32
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ELECTRICAL CHARACTERISTICS OF DOUBLE ELECTRODE RF SPUTTERING SYSTEMS .1. DISCHARGE
被引：3
作者：
JACKSON, GN
机构：
来源：
关键词：
D O I：
10.1016/0042-207X(71)91568-5
中图分类号：
T [工业技术];
学科分类号：
08 ;
摘要：
引用
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页码：533 / &
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