INTERNAL-STRESS, YOUNG MODULUS AND ADHESION ENERGY OF CARBON-FILMS ON GLASS SUBSTRATES

被引：108

作者：

MATUDA, N

BABA, S

KINBARA, A

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(81)90514-9

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：301 / 305

页数：5

共 8 条

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