FLASH EVAPORATOR FOR THIN FILM DEPOSITION

被引：14

作者：

BEAM, WR

TAKAHASHI, T

机构：

来源：

REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS | 1964年 / 35卷 / 11期

关键词：

D O I：

10.1063/1.1719243

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

收藏

页码：1623 / &

相关论文

共 3 条

[1]

BECKERMAN M, 1962, P ELECTRON COMPONENT, P53

[2] A METHOD FOR THE EVAPORATION OF ALLOYS [J].

HARRIS, L ;

SIEGEL, BM .

JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 1948, 19 (08) :739-741

[3]

HOLLAND L, 1958, VACUUM DEPOSITION TH, P195