HIGH-POWER INDUCTIVELY COUPLED PLASMA TORCH AND IMPEDANCE MATCHING NETWORK

被引：22

作者：

WINDSOR, DL ^{[1
]}

HEINE, DR ^{[1
]}

DENTON, MB ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV ARIZONA,DEPT CHEM,TUCSON,AZ 85721

来源：

关键词：

D O I：

10.1366/0003702794926191

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

页码：56 / 58

页数：3

共 7 条

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