EVAPORATION SOURCE WITH CONTROLLED CHARACTERISTICS

被引:10
作者
DASILVA, EM
机构
关键词
D O I
10.1063/1.1717116
中图分类号
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号
0804 ; 080401 ; 081102 ;
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页数:2
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共 3 条
  • [1] HOLLAND L, 1956, VACUUM DEPOSITION TH, P104
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