MICROTOOL FABRICATION BY ETCH PIT REPLICATION

被引：16

作者：

KIEWIT, DA ^{[1
]}

机构：

[1] HUGHES RES LABS,3011 MALIBU CANYON RD,MALIBU,CA 90265

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.1686045

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

页码：1741 / 1742

页数：2

共 8 条

[1]

BEYON WJ, 1973, SEMICONDUCTOR SILICO

[2]

BLECH I, 1970, HDB THIN FILM TECHNO, pCH23

[3] ANISOTROPIC ETCHING OF SILICON [J].

LEE, DB .

[4] SODIUM BOROHYDRIDE (NABH4) INITIATION OF ELECTROLESS PLATING [J].

MCBRIDE, DG ;

VLASAK, GP .

[5]

PRICE JB, 1973, SEMICONDUCTOR SILICO

[6]

STOLLER AI, 1970, RCA REV, V31, P271

[7]

Zwicker W. K., 1973, SEMICONDUCTOR SILICO

[8]

664 CHEMPL CORP TECH