THEORY OF ABERRATION MIXING IN ELECTRON-OPTICAL SYSTEMS

被引：13

作者：

HARTE, KJ ^{[1
]}

机构：

[1] MICRO BIT CORP,LEXINGTON,MA 02173

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1973年 / 10卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1116/1.1318477

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：1098 / 1101

页数：4