SOME OBSERVATIONS ON SAMPLE SPUTTERING IN A GLOW-DISCHARGE

被引:27
作者
JAGER, H [1 ]
BLUM, F [1 ]
机构
[1] CSIR,NATL PHYS RES LAB,PRETORIA,SOUTH AFRICA
关键词
D O I
10.1016/0584-8547(74)80009-1
中图分类号
O433 [光谱学];
学科分类号
0703 ; 070302 ;
摘要
引用
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页码:73 / &
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