COMPARISON OF SOURCES OF BORON, PHOSPHORUS, AND ARSENIC IONS

被引：9

作者：

WILSON, RG ^{[1
]}

JAMBA, DM ^{[1
]}

机构：

[1] HUGHES AIRCRAFT CO,RES LABS,MALIBU,CA 90265

来源：

APPLIED PHYSICS LETTERS | 1973年 / 22卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1063/1.1654601

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：176 / 179

页数：4

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