INTERFEROMETRIC SURFACE MAPPING WITH VARIABLE SENSITIVITY

被引：9

作者：

JAERISCH, W

MAKOSCH, G

机构：

来源：

APPLIED OPTICS | 1978年 / 17卷 / 05期

关键词：

D O I：

10.1364/AO.17.000740

中图分类号：

O43 [光学];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

引用

页码：740 / 743

页数：4

共 18 条

[1]

ABBE RC, 1974, SOLID STATE TECH MAR, P47

[2]

ABRAMSON N, 1970, FERTIGUNG, V2

[3]

ABRAMSON N, 1969, OPTIK, V30, P59

[4] SIGN DETERMINATION OF CONTOUR LINES [J].

BENOIT, P ;

MATHIEU, E ;

THOMAS, A .

BREITWEI.G .

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY, 1974, 11 (01) :101-105

[6] INTERFEROMETRIC FLATNESS TESTING OF NONOPTICAL SURFACES [J].

BRIERS, JD .

APPLIED OPTICS, 1971, 10 (03) :519-&

[7]

BRIERS JD, 1972, OPTICS LASER TEC FEB, P28

[8] OPTICAL CONTOUR MAPPING OF SURFACES [J].

JAERISCH, W ;

MAKOSCH, G .

APPLIED OPTICS, 1973, 12 (07) :1552-1557

[9]

JAERISCH W, 1975, FEINWERKTECH MESSTEC, V83, P199

[10] HIGHER-ORDER LLOYD INTERFEROMETER [J].

LANGENBE.P .

APPLIED OPTICS, 1970, 9 (08) :1838-&