Sputtering at very low Gas Pressure

被引：24

作者：

Guentherschulze, A.

Meyer, Konrad

机构：

来源：

ZEITSCHRIFT FUR PHYSIK | 1930年 / 62卷 / 9-10期

关键词：

D O I：

10.1007/BF01843478

中图分类号：

O4 [物理学];

学科分类号：

0702 ;

摘要：

引用

页码：607 / 618

页数：12

相关论文

共 4 条

[1] Cathode sputtering II The derivation of the law of impact sputtering with the aid of silver in hydrogen
Guntherschulze, A
[J]. ZEITSCHRIFT FUR PHYSIK, 1926, 38 (08): : 575 - 588
[2] Guntherschulze A., 1926, Z PHYS, V36, P563, DOI [10.1007/BF01394303, DOI 10.1007/BF01394303]
[3] The energy transport in the dark space of the glow discharge
Runge, I.
[J]. ZEITSCHRIFT FUR PHYSIK, 1930, 61 (3-4): : 174 - 184
[4] von Hippel A, 1926, ANN PHYS-BERLIN, V81, P1043