LOW-PRESSURE CVD OF III-V COMPOUNDS

被引：13

作者：

DUCHEMIN, JP

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1981年 / 18卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1116/1.570941

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：753 / 755

页数：3

共 7 条

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