INFLUENCE OF SOURCE PARAMETERS ON PROPERTIES OF AN ION-BEAM

被引：8

作者：

WITTMAACK, K ^{[1
]}

SCHULZ, F ^{[1
]}

机构：

[1] GESELL STRAHLEN & UMWELT FORSCH, PHYS TECH ABT, 8042 NEUHERBERG, WEST GERMANY

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1973年 / 10卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1116/1.1318515

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：918 / 921

页数：4

共 16 条

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