PHYSICAL MECHANISMS FOR CHEMICALLY SENSITIVE SEMICONDUCTOR-DEVICES

被引:38
作者
BERGVELD, P [1 ]
DEROOIJ, NF [1 ]
ZEMEL, JN [1 ]
机构
[1] UNIV PENN,MOORE SCH ELECT ENGN,DEPT ELECT ENGN & SCI,PHILADELPHIA,PA 19174
关键词
D O I
10.1038/273438a0
中图分类号
O [数理科学和化学]; P [天文学、地球科学]; Q [生物科学]; N [自然科学总论];
学科分类号
07 ; 0710 ; 09 ;
摘要
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页码:438 / 443
页数:6
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