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ADHESION OF PMDA-ODA POLYIMIDE TO SILICON-OXIDE SURFACE - SENSITIVITY TO FLUORINE CONTAMINATION
被引：15
作者：
BUCHWALTER, LP
LACOMBE, RH
机构：
关键词：
D O I：
10.1163/156856188X00444
中图分类号：
TQ [化学工业];
学科分类号：
0817 ;
摘要：
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页码：463 / 482
页数：20
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