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ION-ENHANCED FILM BONDING
被引：2
作者：
FRANKS, J
STUART, PR
WITHERS, RB
机构：
[1] NATL PHYS LAB,TEDDINGTON TW11 0LW,MIDDLESEX,ENGLAND
[2] MULLARD LTD,SOUTHAMPTON,ENGLAND
关键词：
D O I：
10.1016/0040-6090(79)90223-2
中图分类号：
T [工业技术];
学科分类号：
08 ;
摘要：
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