GENERATION OF DISLOCATIONS ON POLISHED SURFACES OF DISLOCATION FREE SILICON-WAFERS

被引：1

作者：

FISCHER, W

HEYMANN, G

机构：

来源：

KRISTALL UND TECHNIK-CRYSTAL RESEARCH AND TECHNOLOGY | 1980年 / 15卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1002/crat.19800150411

中图分类号：

O7 [晶体学];

学科分类号：

0702 ; 070205 ; 0703 ; 080501 ;

摘要：

引用

页码：463 / 469

页数：7

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