HIGH-POWER MICROWAVE LINE WITH ARBITRARY IMPEDANCE MATCHING CAPABILITY FOR PLASMA APPLICATIONS

被引：8

作者：

GANGULI, A

BASKARAN, R

NAIDU, PA

RAJU, GVR

机构：

来源：

REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS | 1989年 / 60卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1063/1.1141072

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

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页码：244 / 248

页数：5

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