HIGH-ACCURACY PROFILE MEASUREMENT OF QUASI-CONICAL MIRROR SURFACES BY LASER AUTOCOLLIMATION

被引：78

作者：

ENNOS, AE

VIRDEE, MS

机构：

来源：

PRECISION ENGINEERING-JOURNAL OF THE AMERICAN SOCIETY FOR PRECISION ENGINEERING | 1982年 / 4卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1016/0141-6359(82)90106-4

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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