NITRIDING OF BULK TITANIUM AND THIN TITANIUM FILMS IN A NH3 LOW-PRESSURE PLASMA

被引：23

作者：

LAIDANI, N

PERRIERE, J

LINCOT, D

GICQUEL, A

AMOUROUX, J

机构：

[1] UNIV PARIS 07,ECOLE NORMALE SUPER,PHYS SOLIDE GRP,F-75251 PARIS 05,FRANCE

[2] ECOLE NATL SUPER CHIM,ELECTROCHIM ANALYT & APPL LAB,CNRS,UA 216,F-75231 PARIS 05,FRANCE

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0169-4332(89)90946-X

中图分类号：

O64 [物理化学（理论化学）、化学物理学];

学科分类号：

070304 ; 081704 ;

摘要：

引用

页码：520 / 529

页数：10

共 10 条

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