RULING OF LARGE DIFFRACTION GRATINGS WITH INTERFEROMETRIC CONTROL

被引:31
作者
HARRISON, GR
STURGIS, N
BAKER, SC
STROKE, GW
机构
关键词
D O I
10.1364/JOSA.47.000015
中图分类号
O4 [物理学];
学科分类号
0702 ;
摘要
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