ELECTRON-MICROSCOPIC EVIDENCE FOR A COLUMNAR-VOID-TYPE STRUCTURE IN SPUTTERED NBN FILMS

被引:26
作者
WAGNER, W
AST, D
GAVALER, JR
机构
[1] CORNELL UNIV,BARD HALL,ITHACA,NY 14850
[2] WESTINGHOUSE ELECT CORP,RES LABS,PITTSBURGH,PA 15235
关键词
D O I
10.1063/1.1663003
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页数:2
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