FLATNESS AND SURFACE ROUGHNESS OF SOME COMMON THIN FILM SUBSTRATE MATERIALS

被引:10
作者
ANDERSON, RM
NEUDECK, GW
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1971年 / 8卷 / 02期
关键词
D O I
10.1116/1.1314484
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:454 / &
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