ELECTRON-BEAM LITHOGRAPHY OF CHLORINATED POLYSTYRENES WITH NARROW MOLECULAR-WEIGHT DISTRIBUTIONS

被引：41

作者：

FEIT, ED ^{[1
]}

STILLWAGON, LE ^{[1
]}

机构：

[1] BELL TEL LABS INC,MURRAY HILL,NJ 07974

来源：

POLYMER ENGINEERING AND SCIENCE | 1980年 / 20卷 / 16期

关键词：

D O I：

10.1002/pen.760201604

中图分类号：

TQ [化学工业];

学科分类号：

0817 ;

摘要：

引用

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页码：1058 / 1063

页数：6

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