CURRENT-VOLTAGE CHARACTERISTIC OF REACTIVE SPUTTERING WITH ELEMENT TARGETS

被引：7

作者：

SALM, J

STEENBECK, K

STEINBEISS, E

机构：

[1] Zentralinstitut Für Festkörperphysik Und Werkstofforschung, Akademie Der Wissenschaften Der Ddr, Institutsteil Für Magnetische Werkstoffe

来源：

PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLIED RESEARCH | 1979年 / 54卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1002/pssa.2210540160

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

[No abstract available]

引用

页码：K23 / K26

页数：4

共 4 条

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