A COMPACT CMA SPECTROMETER WITH AXIALLY INTEGRATED HYBRID ELECTRON-ION GUN FOR ISS, AES AND SPUTTER DEPTH PROFILE ANALYSIS

被引：11

作者：

GISLER, E ^{[1
]}

BAS, EB ^{[1
]}

机构：

[1] ETH ZENTRUM,INST ANGEW PHYS,CH-8093 ZURICH,SWITZERLAND

来源：

VACUUM | 1986年 / 36卷 / 10期

关键词：

D O I：

10.1016/0042-207X(86)90348-9

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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页码：715 / 722

页数：8

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共 5 条

[1] THE STRUCTURAL DESIGN AND THE ELECTRON OPTICS OF A HYBRID ELECTRON-ION GUN [J].

BAS, EB ;

GISLER, E ;

STUCKI, F .

JOURNAL OF PHYSICS E-SCIENTIFIC INSTRUMENTS, 1984, 17 (05) :405-410

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GREUTER F, UNPUB