IONIZATION-DRIFT TURBULENCE IN RF-MAGNETRON PLASMAS

被引：18

作者：

I, L

WU, MS

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.339120

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：4077 / 4084

页数：8

共 38 条

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