LASER FABRICATION OF LARGE-AREA ARRAYS - THIN-FILM SILICON ISOLATED DEVICES ON FUSED SILICA SUBSTRATES

被引：23

作者：

LAFF, RA ^{[1
]}

HUTCHINS, GL ^{[1
]}

机构：

[1] IBM CORP,THOMAS J WATSON RES CTR,YORKTOWN HEIGHTS,NY 10598

来源：

IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES | 1974年 / ED21卷 / 11期

关键词：

D O I：

10.1109/T-ED.1974.18037

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

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