EVIDENCE FOR ELECTRON-INDUCED X-RAY-EMISSION IN SPUTTERING DEPOSITION

被引：5

作者：

HECQ, M

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.97110

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：445 / 446

页数：2

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共 7 条

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