MICROSTRUCTURE OF ION-BOMBARDED FE-TI AND FE-TI-C MULTILAYERED FILMS

被引:26
作者
HIRVONEN, JP [1 ]
NASTASI, M [1 ]
MAYER, JW [1 ]
机构
[1] CORNELL UNIV,DEPT MAT SCI & ENGN,ITHACA,NY 14853
关键词
D O I
10.1063/1.337341
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:980 / 984
页数:5
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