MORPHOLOGIES OF RF SPUTTER-DEPOSITED SOLID LUBRICANTS

被引：7

作者：

ANDERSSON, KAB ^{[1
]}

KARLSSON, SE ^{[1
]}

OHMAE, N ^{[1
]}

机构：

[1] LINKOPING UNIV,DEPT PHYS & MEASUREMENT TECHNOL,S-58183 LINKOPING,SWEDEN

来源：

VACUUM | 1977年 / 27卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1016/0042-207X(77)90027-6

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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页码：379 / 382

页数：4

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共 8 条

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