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VICKERS TYPE ULTRA-MICROHARDNESS TESTER FOR THIN-FILMS
被引：12
作者：
NISHIBORI, M
KINOSITA, K
机构：
关键词：
D O I：
10.1143/JJAP.11.758
中图分类号：
O59 [应用物理学];
学科分类号：
摘要：
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页码：758 / +
页数：1
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