MEASURING SMALL GAS FLOWS INTO VACUUM SYSTEMS

被引：10

作者：

HAWK, CE

BAKER, WC

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1969年 / 6卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1116/1.1492673

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：255 / &

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共 7 条

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