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SPUTTER-INDUCED DAMAGE IN AL/N-GAAS AND AL/P-GAAS SCHOTTKY BARRIERS
被引：40
作者：
VANDENBROUCKE, DA
VANMEIRHAEGHE, RL
LAFLERE, WH
CARDON, F
机构：
关键词：
D O I：
10.1088/0268-1242/2/5/008
中图分类号：
TM [电工技术];
TN [电子技术、通信技术];
学科分类号：
0808 ;
0809 ;
摘要：
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页码：293 / 298
页数：6
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