CHEMICAL ETCHING OF HIGH-TC SUPERCONDUCTING Y-BA-CU-O FILMS IN PHOSPHORIC-ACID SOLUTION

被引：17

作者：

YOSHIZAKO, Y

TONOUCHI, M

KOBAYASHI, T

机构：

来源：

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS & EXPRESS LETTERS | 1987年 / 26卷 / 09期

关键词：

D O I：

10.1143/JJAP.26.L1533

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：L1533 / L1534

页数：2