ANALYSIS OF GLASS SHELL BLOWING GASES FROM METAL-ORGANIC GELS

被引：2

作者：

DOWNS, RL

EBNER, MA

HOMYK, BD

NOLEN, RL

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1981年 / 18卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1116/1.570912

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：1272 / 1275

页数：4

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共 4 条

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