ELECTRON AND CHEMICAL-KINETICS IN METHANE RF GLOW-DISCHARGE DEPOSITION PLASMAS

被引:158
作者
KLINE, LE
PARTLOW, WD
BIES, WE
机构
关键词
D O I
10.1063/1.343378
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
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