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A PRODUCTION POLISHING PROCESS FOR THIN PLZT WAFERS
被引：4
作者：
LAGUNA, GR
机构：
关键词：
D O I：
10.1080/00150198008226096
中图分类号：
T [工业技术];
学科分类号：
08 ;
摘要：
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页码：187 / 190
页数：4
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