PREPARATION OF MULTILAYERS USING CHEMICAL ADSORPTION AND ELECTRON-BEAM IRRADIATION

被引:6
作者
OGAWA, K [1 ]
TAMURA, H [1 ]
MINO, N [1 ]
HATADA, M [1 ]
机构
[1] JAPAN ATOM ENERGY RES INST,OSAKA LAB RADIAT CHEM,NEYAGAWA,OSAKA 572,JAPAN
关键词
D O I
10.1016/0040-6090(89)90169-7
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
引用
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页数:9
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