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USING SIMULATORS TO MODEL TRANSMITTED VARIABILITY IN IC MANUFACTURING
被引：10
作者：
SHARIFZADEH, S
KOEHLER, JR
OWEN, AB
SHOTT, JD
机构：
关键词：
D O I：
10.1109/66.29674
中图分类号：
T [工业技术];
学科分类号：
08 ;
摘要：
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